Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器

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產(chǎn)品名稱: Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器

產(chǎn)品型號: OG-5000

產(chǎn)品展商: 其它品牌

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000 OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺流程中。OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。

Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器 的詳細(xì)介紹

Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000

OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕臺流程中。OG-5000系列設(shè)計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。