電子半導體材料特氣中微量氧微量水含量用AII GPR-1600UHP ppb微量氧分析儀
在工業上，常溫常壓下為氣態的產品統稱為工業氣體產品。根據制備方法和應用領域的不同，工業氣體可分為散裝氣體和特種氣體。散裝氣體主要包括氧氣、氮氣、氬氣等空氣分離氣體和乙炔、二氧化碳等合成氣體。特種氣體主要包括電子氣體、高純氣體和標準氣體。
在半導體器件和集成電路的制造中，向半導體材料中摻雜一些雜質，使材料具有所需的導電類型和一定的電阻率，從而制造電阻、PN結、埋層等。摻雜過程中使用的氣體稱為摻雜氣體。包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。通常，摻雜源和載氣(如氬氣和氮氣)在源柜中混合。將混合氣流連續注入擴散爐并包圍晶片，摻雜劑沉積在晶片表面，然后與硅反應生成摻雜金屬并遷移到硅中。
Aii gpr-1600系列超高壓PPB氧分析儀 **的UHP(超高純度)微微離子氧傳感器可以**測量小于1 ppb至100 ppm范圍內的氧濃度，使用壽命為15個月，無需定期維護，整體溫度控制可提高穩定性，菜單驅動控制和全自動(自動調零、自動校準、遠程訪問)超清潔和無泄漏的316L不銹鋼取樣系統。新西蘭Aeroqual GPR-1600 MS系列PPB氧氣分析儀 采用**皮科離子氧傳感器，**測量氧濃度10 ppb至1000 PPM工作壽命超過24個月，MS版無需定期維護，整體溫控提高穩定性，菜單驅動控制。此外，不銹鋼整體旁路取樣系統使分析儀能夠在幾分鐘內以低ppb水平上線。 GPR-1600系列PPM氧氣分析儀 先進的電化學跟蹤PPM氧傳感器可以**測量氧濃度從100 ppb到24個月以上的工作壽命，無需1%的定期維護，菜單驅動控制，以及不銹鋼集成旁路采樣系統，使分析儀可以在幾分鐘內達到低PPM水平。 GPR-1600系列PPM氧氣分析儀 先進的電化學跟蹤PPM氧傳感器可以**測量氧濃度從100 ppb到24個月以上的工作壽命，無需1%的定期維護，菜單驅動控制，以及不銹鋼集成旁路采樣系統，使分析儀可以在幾分鐘內達到低PPM水平。 更多電子半導體材料特氣中微量氧微量水含量用AII GPR-1600UHP ppb微量氧分析儀信息請直接致電埃登威上海公司13482246053
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